15μm AIR Gap 8×8/4×4 Pixels single crystal Silicon continuous membrane deformable mirror
15μm AIR Gap 8×8/4×4 Pixels single crystal Silicon continuous membrane deformable mirror
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15μm AIR Gap 8×8/4×4像素单晶硅连续膜变形镜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masayuki Akiyama and Kazuhiro Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tong Wu;Takashi Sasaki;Masayuki Akiyama and Kazuhiro Hane
