4H-SiC(0001)面の熱酸化における酸化種と酸化速度の関係
4H-SiC(0001)面の熱酸化における酸化種と酸化速度の関係
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4H-SiC(0001)表面热氧化过程中氧化物种类与氧化速率的关系
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡部 平司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永井 大介;福島 悠太;勝 義仁;細井 卓治;志村 考功;渡部 平司
