プラズマ化学蒸着(CVD)法を用いたナローギャップアモルファスカーボン(a-C)半導体の創製

プラズマ化学蒸着(CVD)法を用いたナローギャップアモルファスカーボン(a-C)半導体の創製
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使用等离子体化学气相沉积 (CVD) 方法制造窄带隙非晶碳 (a-C) 半导体

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
林 紘平・山田 昌央・永田 祥弥・小林 龍太朗・本多 謙介
林 紘平・山田 昌央・永田 祥弥・小林 龍太朗・本多 謙介
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
O. Kojima;Y. Iwasaki;T. Kita;and K. Akahane;林 紘平・山田 昌央・永田 祥弥・小林 龍太朗・本多 謙介

文献摘要

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