Temporary Bonding Strength Control forSelf-Assembly-Based 3D Integration
Temporary Bonding Strength Control forSelf-Assembly-Based 3D Integration
复制标题
基于自组装 3D 集成的临时粘合强度控制
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Mitsumasa Koyanagi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takafumi Fukushima;Yuki Ohara;Jicheol Bea;Mariappan Murugesan;Kang-Wook Lee;Tetsu Tanaka;and Mitsumasa Koyanagi
