D.Imafuku: "Organic Contamination of Silicon Wafers in Clean Room Air and Its Impact to Gate Oxide Integrity" Mat.Res.Symp.Proc.477. 101-105 (1997)
D.Imafuku: "Organic Contamination of Silicon Wafers in Clean Room Air and Its Impact to Gate Oxide Integrity" Mat.Res.Symp.Proc.477. 101-105 (1997)
复制标题
D.Imafuku:“洁净室空气中硅片的有机污染及其对栅极氧化物完整性的影响”Mat.Res.Symp.Proc.477。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: