Fabrication of local microvacuum package incorporating Si field emitter array and Ti getter
Fabrication of local microvacuum package incorporating Si field emitter array and Ti getter
复制标题
包含硅场发射体阵列和钛吸气剂的局部微真空封装的制造
DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Daiji Noda;et al.
