Reactive sputter deposition of transparent and low refractive-index MgF2 thin films using a double-grid negative-ion retarding electrode
Reactive sputter deposition of transparent and low refractive-index MgF2 thin films using a double-grid negative-ion retarding electrode
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使用双栅极负离子延迟电极反应溅射沉积透明低折射率 MgF2 薄膜
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Daiki Matsunaga
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Eiji Kusano;Daiki Matsunaga
