熱処理によるSiO2/SiON/SiC 構造の特性改善
熱処理によるSiO2/SiON/SiC 構造の特性改善
复制标题
通过热处理改善SiO2/SiON/SiC结构的性能
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
赤羽桂幸，狩野巧生，荻野航弥，山上朋彦，上村喜一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Ueda;M. Nishiwaki;T. Soumiya;and H. Asano;赤羽桂幸，狩野巧生，荻野航弥，山上朋彦，上村喜一
