Masanori Shojiya: "Preparation of Amorphous Fluoride Thin Films by Electron Cyclotron Resonance Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition"J.Non-Cryst. Solids. 284. 153-159 (2001)
Masanori Shojiya: "Preparation of Amorphous Fluoride Thin Films by Electron Cyclotron Resonance Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition"J.Non-Cryst. Solids. 284. 153-159 (2001)
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Masanori Shojiya：“通过电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积制备非晶氟化物薄膜”J.Non-Cryst。
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