Hidden Vertical Comb-Drive Actuator on PDMS Fabricated by Parts-Transfer
Hidden Vertical Comb-Drive Actuator on PDMS Fabricated by Parts-Transfer
复制标题
通过零件转移制造的 PDMS 上隐藏式垂直梳状驱动执行器
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Isao Shimoyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Eiji Iwase;Hiroaki Once;Kiyoshi Matsumoto;Isao Shimoyama
