伊藤治彦, 伊藤典子, 高橋 勉, 高松大輔, 田中大祐, 齋藤秀俊: "Mechanism of Nitrogen Incorporation into Amorphous-CNx Films Formed by Plssma-Enhanced Chemiecal-Vapor Deposition of the Doublet and States of the CN Radical"Japanese Journal of Applied Physics. 39. 1371-1377 (2000)
伊藤治彦, 伊藤典子, 高橋 勉, 高松大輔, 田中大祐, 齋藤秀俊: "Mechanism of Nitrogen Incorporation into Amorphous-CNx Films Formed by Plssma-Enhanced Chemiecal-Vapor Deposition of the Doublet and States of the CN Radical"Japanese Journal of Applied Physics. 39. 1371-1377 (2000)
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Haruhiko Ito、Noriko Ito、Tsutomu Takahashi、Daisuke Takamatsu、Daisuke Tanaka、Hidetoshi Saito：“通过等离子体增强化学气相沉积双峰形成的非晶 CNx 薄膜中氮的结合机制以及 CN 自由基的状态”日本期刊应用物理学。39。1371-1377（2000）
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