小型研磨機によるGaNの研磨加工特性の評価 -アルカリ液と紫外線照射の効果-
小型研磨機によるGaNの研磨加工特性の評価 -アルカリ液と紫外線照射の効果-
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使用小型抛光机评估GaN抛光特性-碱性液体和紫外线照射的影响-
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤野雄大，松井伸介，遠藤謙人，矢島利康，二宮大輔，山本栄一，伊東利洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shinsuke Matsui and Ken-noshin Kimura;S. Matsui and K. Kimura;Shinsuke Matsui and Atsunobu Une;藤野雄大，松井伸介，遠藤謙人，矢島利康，二宮大輔，山本栄一，伊東利洋
