Feature Extractions from a High-dimension Low-samples Data for Multi-dimension Virtual Metrology

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用于多维虚拟计量的高维低样本数据特征提取

DOI:
10.23919/emdc/issm48219.2019.9052136
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发表时间:
2019
期刊:
Proceedings of The International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2019 (Joint symposium e-MDC and ISSM2019)
影响因子:
--
通讯作者:
T. NAGATA
T. NAGATA
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
S.ARIMA;H. BU;Y. ONUMA;K. HANDA;T. NAGATA

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI: 10.1016/j.snb.2014.09.001
发表时间: 2015-01-01
影响因子: 8.4
作者:
Ziyatdinov, Andrey;Fonollosa, Jordi;Perera, Alexandre
通讯作者: Perera, Alexandre