PDMSを用いたMEMS多層アレイ型触覚センサの開発

PDMSを用いたMEMS多層アレイ型触覚センサの開発
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使用PDMS开发MEMS多层阵列型触觉传感器

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
青柳 誠司
青柳 誠司
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
竹下 麻衣;古川 克英;小野 大輔;田中 孝明;青柳 誠司

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