Design of a nanomachining probe with nanometrology function

Design of a nanomachining probe with nanometrology function
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具有纳米计量功能的纳米加工探针的设计

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proceedings First International Symposium on Standard Materials And Metrology for Nanotechnology
影响因子：
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通讯作者：
John A Patten
John A Patten
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Wei Gao;Yasuto Kudo;Satoshi Kiyono;John A Patten

文献摘要

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