工具鋼のスパッタエッチングによって形成した微細突起物の光反射特性
工具鋼のスパッタエッチングによって形成した微細突起物の光反射特性
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工具钢溅射蚀刻形成的微观突起的光反射性能
DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山本旭宏
中科院分区:
文献类型:
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作者:
中佐啓治郎;加藤昌彦;久保隆;山本旭宏