Evaluation of displacement and surface potential of a micro-piezoresistor by a Kelvin probe force microscope
Evaluation of displacement and surface potential of a micro-piezoresistor by a Kelvin probe force microscope
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用开尔文探针力显微镜评估微压敏电阻的位移和表面电位
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Futoshi Iwata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kenta Nakazawa;Takumi Tanaka;Takeshi Uruma;and Futoshi Iwata
