青山英樹: "球面抵抗薄膜を用いた面法線検出プロ-ブの開発実用化に関する研究-3点支持機構の結合と測定精度の向上-" 昭和63年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 331-332 (1988)
青山英樹: "球面抵抗薄膜を用いた面法線検出プロ-ブの開発実用化に関する研究-3点支持機構の結合と測定精度の向上-" 昭和63年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 331-332 (1988)
复制标题
青山秀树：《利用球状电阻薄膜的表面法线检测探头的开发与实际应用研究——三点支撑机构的结合与测量精度的提高——》1985年日本精密工程学会秋季会议上的演讲论文学术讲座集。331-332（1988）
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
