Preparation of 0.5 µm thick self-patternable PZT films by sol-gel procedure for applying to the micro-detection system
Preparation of 0.5 µm thick self-patternable PZT films by sol-gel procedure for applying to the micro-detection system
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采用溶胶-凝胶法制备 0.5 µm 厚的自图案化 PZT 薄膜，应用于微检测系统
DOI：
10.1016/s0167-9317(03)00392-7
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发表时间：
2003
影响因子：
2.3
通讯作者：
Tae Song Kim
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Hwang;Woo;Hyung‐Ho Park;Tae Song Kim
