M.Ishii: "Surface reaction control in digital etching of GaAs" Proc.12th Symp.Ion Beam Technol.,Hosei Univ.75-80 (1993)
M.Ishii: "Surface reaction control in digital etching of GaAs" Proc.12th Symp.Ion Beam Technol.,Hosei Univ.75-80 (1993)
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M.Ishii：“GaAs 数字蚀刻中的表面反应控制”Proc.12th Symp.Ion Beam Technol.，Hosei Univ.75-80 (1993)
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