OVPE-GaN基板上MOVPE成長におけるピット低減と表面平坦性の改善
OVPE-GaN基板上MOVPE成長におけるピット低減と表面平坦性の改善
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OVPE-GaN 衬底上 MOVPE 生长的凹坑减少和表面平整度改善
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森勇介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宇佐美茂佳;今西正幸;滝野淳一;隅智亮;岡山芳央;丸山美帆子;吉村政志;秦雅彦;伊勢村雅士;森勇介
