Optimization of piezoresistive cantilever sensors towards highly sensitive membrane-type surface stress sensor (MSS) for medical, security, and environmental applications
Optimization of piezoresistive cantilever sensors towards highly sensitive membrane-type surface stress sensor (MSS) for medical, security, and environmental applications
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针对医疗、安全和环境应用的高灵敏度膜型表面应力传感器 (MSS) 优化压阻悬臂梁传感器
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Genki Yoshikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大内 誠，澤本 光男;後藤淳;Genki Yoshikawa
