スロットダイコーターの精密計測に関する研究 ‐第3 報 マイクロプローブ先端球のその場校正の不確かさ評価‐
スロットダイコーターの精密計測に関する研究 ‐第3 報 マイクロプローブ先端球のその場校正の不確かさ評価‐
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狭缝模头涂布机精密测量研究第3部分：微探针尖端球体原位校准的不确定度评估-
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊東聡，菊地浩貴，小林遼，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
So Ito;Yuanliu Chen;Hirotaka Kikuchi;Ryo Kobayashi;Yuki Shimizu;Wei Gao;Kazuhiko Takahashi;Toshihiko Kanayama;Kunmei Arakawa;Atsushi Hayashi;伊東聡，陳遠流，菊地浩貴，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦;小川貴大,坂田誠一郎;伊東聡，菊地浩貴，小林遼，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
