Electro-dynamical Analysis on Optimization of Off-Axial DC Magnetron Sputtering Target for High Tc Superconducting Thin Film Deposition
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复制标题
高温超导薄膜沉积离轴直流磁控溅射靶材优化的电动分析
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Uchida and S. Yoshimori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Arihara;A. Uchida and S. Yoshimori
