ナノカーボンの触媒作用を援用した半導体表面の選択領域加工－エッチング液に添加した酸化剤が加工特性に与える影響－
ナノカーボンの触媒作用を援用した半導体表面の選択領域加工－エッチング液に添加した酸化剤が加工特性に与える影響－
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利用纳米碳的催化作用对半导体表面的选定区域进行加工 - 添加到蚀刻溶液中的氧化剂对加工特性的影响 -
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本聖也，李君寰，孫栄硯，山村和也，有馬健太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三栗野諒;小笠原歩見;川合健太郎;山村和也;有馬健太;山本聖也，李君寰，孫栄硯，山村和也，有馬健太
