ウエーハ張り合わせにより製作した波面補正用デフォーマブルミラー
ウエーハ張り合わせにより製作した波面補正用デフォーマブルミラー
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由键合晶圆制成的用于波前校正的可变形镜
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
呉同
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木麻里子;久保京子;秦栄三;中村誠. 吉村睦;河端俊典;鈴木麻里子;久保京子;鈴木麻里子;久保京子;鈴木麻里子;鈴木麻里子;鈴木麻里子;久保京子;呉同
