A New Fast Tool Servo with Integrated Functions for In-process Measurement and Fabrication of Microstructured Surfaces
A New Fast Tool Servo with Integrated Functions for In-process Measurement and Fabrication of Microstructured Surfaces
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具有集成功能的新型快刀伺服系统，用于微结构表面的过程测量和制造
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wei Gao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuan-Liu Chen;Yuki Shimizu;So Ito;Wei Gao
