Nano scale three-dimensional metal pattern transfer by nanoimprint lithography using metal oxide as a release layer
Nano scale three-dimensional metal pattern transfer by nanoimprint lithography using metal oxide as a release layer
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使用金属氧化物作为释放层，通过纳米压印光刻实现纳米级三维金属图案转移
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jun Taniguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Noriyuki Unno;Jun Taniguchi
