Preparation of Al-Doped Zinc Oxide Thin Films Using Mixed Powder Targets with Different Bulk Densities Preparation of Al-Doped Zinc Oxide Thin Films Using Mixed Powder Targets with
Preparation of Al-Doped Zinc Oxide Thin Films Using Mixed Powder Targets with Different Bulk Densities Preparation of Al-Doped Zinc Oxide Thin Films Using Mixed Powder Targets with
复制标题
利用不同堆积密度的混合粉末靶材制备掺铝氧化锌薄膜 利用不同堆积密度的混合粉末靶材制备掺铝氧化锌薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Masaharu Shiratani
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Tamiko Ohshima;Hiroharu Kawasaki;Yusuke Hibino;Takahiko Satake;Yoshihito Yagyu; Takeshi Ihara;Naho Itagaki;Kazunori Koga;Masaharu Shiratani
