Atom-probe tomographic study of localized hydrogen functionalities in silicon-based thin-film heterostructures
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复制标题
硅基薄膜异质结构中局域氢官能团的原子探针断层扫描研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Miyamoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Ohno;M. Uchida;Y. Nakazawa;S. Sato;M. Kriener;A. Miyake;M. Tokunaga;Y. Taguchi;and M. Kawasaki;S. Miyamoto
