Tomohiko Sogo: "Properties of Amorphous Carbon Nitride Thin Films Prepared by Unbalanced Magnetron Sputtering"Proc. 5th Int. Symp. on Sputtering & Plasma Process. 229-230 (1999)
Tomohiko Sogo: "Properties of Amorphous Carbon Nitride Thin Films Prepared by Unbalanced Magnetron Sputtering"Proc. 5th Int. Symp. on Sputtering & Plasma Process. 229-230 (1999)
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Tomohiko Sogo：“非平衡磁控溅射制备的非晶氮化碳薄膜的性能”Proc。
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