３次元アトムプローブによる半導体デバイス中のドーパント分布解析
３次元アトムプローブによる半導体デバイス中のドーパント分布解析
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使用 3D 原子探针分析半导体器件中的掺杂剂分布
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清水康雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Takamizawa;Y. Shimizu;K. Inoue;F. Yano;and Y. Nagai;清水康雄
