Elektronenstrahlbehandlung von PVD‐Hartstoffschichten
Elektronenstrahlbehandlung von PVD‐Hartstoffschichten
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PVD-Hartstoffschichten 电子设备处理
DOI:
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发表时间:
2003
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
A. Buchwalder
中科院分区:
文献类型:
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作者:
H. Spies;S. Friedrich;A. Buchwalder
Zur Untersuchung der Wirkung einer Elektronenstrahlbehandlung auf die Struktur und die Eigenschaften hartstoffbeschichteter Stähle wurden Schichten des Typs CrNx, (Ti, Cr)N, (Ti, Al)N, Ti(C, N) und Ti(B, N) auf dem vergüteten Stahl C45 abgeschieden. Die Untersuchung des thermischen Verhaltens der Hartstoffschichten erfolgte durch einen gezielt variierten Energieeintrag und Einfrieren der Gefügeänderungen durch eine Selbstabschreckung. Eine parallel zur Schichtbehandlung auftretende unterschiedliche Härtung der Randschicht des Substrates bewirkte eine differenzierte Abstützung der Hartstoffschicht.