E.H.Yang: "Fabrication and Characterization of U-shaped Beams for the Determination of Young's Modulus Modification due to Joule Heating of Polysilicon Microstructures" Transducers 97. Volume 1. 603-606 (1997)
E.H.Yang: "Fabrication and Characterization of U-shaped Beams for the Determination of Young's Modulus Modification due to Joule Heating of Polysilicon Microstructures" Transducers 97. Volume 1. 603-606 (1997)
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E.H.Yang：“用于确定多晶硅微结构焦耳热引起的杨氏模量变化的 U 形梁的制造和表征”传感器 97。第 1 卷。603-606 (1997)
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