T. Ito, M. Gotoh, K. Sudoh, and H. Iwasaki: "Quantum yield of electron-beam induced decomposition of SiO_2 overlay on Si in nanolithography using scanning tunneling microscope"Jpn. J. Appl. Phys.. 40-10. 6055-6058 (2001)
T. Ito, M. Gotoh, K. Sudoh, and H. Iwasaki: "Quantum yield of electron-beam induced decomposition of SiO_2 overlay on Si in nanolithography using scanning tunneling microscope"Jpn. J. Appl. Phys.. 40-10. 6055-6058 (2001)
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T. Ito、M. Gotoh、K. Sudoh 和 H. Iwasaki:“使用扫描隧道显微镜在纳米光刻中电子束诱导硅上 SiO_2 覆盖层分解的量子产率”Jpn。
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