エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第2報)-積層プロセスの検討-

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利用倏逝光的纳米立体光刻技术的研究(第二次报告) - 层压工艺的检验 -

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 島根
影响因子:
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通讯作者:
高増潔
高増潔
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
梶原優介;稲月友一;高橋哲;高増潔

文献摘要

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