Cloud of a-Si:H Clusters as Selective Filter in SiH4 Multi-Hollow Discharge Plasma
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a-Si:H 团簇云作为 SiH4 多空心放电等离子体中的选择性过滤器
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Shiratani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kojima;K. Tanaka;S. Nagaishi;H. Hara;H. Seo;N. Itagaki;K. Koga;M. Shiratani
