Design of an ECR ion source directly excited in a selected microwavemodes cavity resonator for material processing
Design of an ECR ion source directly excited in a selected microwavemodes cavity resonator for material processing
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用于材料加工的选定微波模式腔谐振器中直接激发的 ECR 离子源的设计
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Asaji;T.;Sasaki;H.;Furuki;H.;Kato;Y.;Ishii;S.;Kanazawa;M.;Saito;J.
