Hui You: "Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication"18th Sensor Symposium. 73-76 (2001)
Hui You: "Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication"18th Sensor Symposium. 73-76 (2001)
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尤慧：“用于3D微加工的多级移动掩模深X射线光刻系统”第18届传感器研讨会。
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