原子層堆積法によるSiC/hBNナノ多層膜の形成と耐チタン凝着特性評価
原子層堆積法によるSiC/hBNナノ多層膜の形成と耐チタン凝着特性評価
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原子层沉积法SiC/hBN纳米多层膜的形成及抗钛附着性能评价
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
楊明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石丸兼;金勇;安原重雄;森河和雄;木原武志;清水徹英;楊明
