Homoepitaxial chemical vapor deposition of diamond film for ultra-light doping

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超轻掺杂金刚石薄膜同质外延化学气相沉积

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and Y. Koide
and Y. Koide
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T. Teraji;J. Isoya;K. Watanabe;S. Koizumi;and Y. Koide

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