Homoepitaxial chemical vapor deposition of diamond film for ultra-light doping
Homoepitaxial chemical vapor deposition of diamond film for ultra-light doping
复制标题
超轻掺杂金刚石薄膜同质外延化学气相沉积
DOI:
--
复制
发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
and Y. Koide
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
T. Teraji;J. Isoya;K. Watanabe;S. Koizumi;and Y. Koide