LiNbO_3超音波モータに用いる結合モード振動特性の電極パターンによる改善検討
LiNbO_3超音波モータに用いる結合モード振動特性の電極パターンによる改善検討
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利用电极图案改善LiNbO_3超声电机耦合模振动特性
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
広瀬精二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中謙太郎;田村英樹;山吉康弘;青柳学;高野剛浩;広瀬精二
