磁界中マイクロ波による低気圧マイクロプラズマ生成

磁界中マイクロ波による低気圧マイクロプラズマ生成
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在磁场中使用微波产生低压微等离子体

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
電気学会プラズマ研究会資料 PST-04-67
影响因子:
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通讯作者:
藤山 寛
藤山 寛
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
古江陽光;井上弘之;隈本 稔;黒木大輔;藤山 寛

文献摘要

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