A Method to Evaluate Explosive Crystallization Velocity of Amorphous Silicon Films during Flash Lamp Annealing
A Method to Evaluate Explosive Crystallization Velocity of Amorphous Silicon Films during Flash Lamp Annealing
复制标题
闪光灯退火过程中非晶硅薄膜爆炸结晶速度的评估方法
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Ohdaira
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保山大空;白仁田沙代子;梅田実;K. Ohdaira
