K.Hayama: "Effect of oxygen radicals for epitaxial growth of Al_2O_3 on Si" Jpn.J.Appl.Phys.33 No.1. 496-499 (1994)
K.Hayama: "Effect of oxygen radicals for epitaxial growth of Al_2O_3 on Si" Jpn.J.Appl.Phys.33 No.1. 496-499 (1994)
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K.Hayama:“氧自由基对 Si 上 Al_2O_3 外延生长的影响”Jpn.J.Appl.Phys.33 No.1。
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