鉄微粒子を利用した単結晶SicおよびGaN基板の平坦化加工
鉄微粒子を利用した単結晶SicおよびGaN基板の平坦化加工
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使用铁颗粒平坦化单晶 SiC 和 GaN 基板
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
久保田章亀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田章亀;宮本士郎;村田順二;八木圭太;原英之;安井平司;佐野泰久;山内和人;Takashi Michikawa and Hiromasa Suzuki;久保田章亀
