High removal rate of cross-linked SU-8 resist using hydrogen radicals generated by tungsten hot-wire catalyzer
High removal rate of cross-linked SU-8 resist using hydrogen radicals generated by tungsten hot-wire catalyzer
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利用钨热丝催化剂产生的氢自由基对交联 SU-8 抗蚀剂进行高去除率
DOI：
10.1016/j.tsf.2014.04.062
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
H. Horibe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Kono;Y. Arai;T. Maruoka;M. Yamamoto;Y. Goto;S. Takahashi;T. Nishiyama;H. Horibe
