Effect of anti-reflection coating on the crystallization of amorphous silicon films by flash lamp annealing
Effect of anti-reflection coating on the crystallization of amorphous silicon films by flash lamp annealing
复制标题
增透膜对闪光灯退火非晶硅薄膜晶化的影响
DOI：
10.7567/jjap.56.04cs10
复制
发表时间：
2017
影响因子：
1.5
通讯作者：
Y. Sonoda and K. Ohdaira
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Momotani;A. Shibata;N. Tsuji;柴田曉伸，村田 有，松岡雄大，桃谷裕二，辻 伸泰;桃谷裕二，柴田曉伸，辻 伸泰;Keisuke Kurata and Keisuke Ohdaira;Daiki Sato and Keisuke Ohdaira;Y. Sonoda and K. Ohdaira
