Local etching of polyimide films using atmospheric-pressure plasma jets
Local etching of polyimide films using atmospheric-pressure plasma jets
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使用大气压等离子体射流对聚酰亚胺薄膜进行局部蚀刻
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉木宏之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉木宏之;石山謙;平田慎太郎;Y.Matsuda;H. Yoshiki;Y.Matsuda;吉木宏之
