H.Egawa,T.Nonaka,T.Yamaguchi,and H.Higashi: "EpisulfideーContaining Polymers as Highly Sensitive ElectronーBeam Resists" J.Appl.Polymer.Sci.

H.Egawa,T.Nonaka,T.Yamaguchi,and H.Higashi: "EpisulfideーContaining Polymers as Highly Sensitive ElectronーBeam Resists" J.Appl.Polymer.Sci.
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H.Ekawa、T.Nonaka、T.Yamaguchi 和 H.Higashi:“含环硫化物的聚合物作为高灵敏电子束抗蚀剂”J.Appl.Polymer.Sci。

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